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12寸晶圆减薄{?/h1>

12寸晶圆减薄{?/a>QZCS-400QD005?b>气静(rn)压电(sh)主u

1、主要技术指?/span>


2?主要_ֺ指标

①?转台回{_ֺ?0.1um                    ⑥?轴向刚性≥500N/um

②?动^衡精度等U≤ G0.4                   ⑦?轴向最大承载≥3500N

③?动态额定速度范围内振?V?.1mm/s       ⑧?径向刚性≥200N/um

④?噪声全速度范围??50 dB               ⑨?径向最大承载≥2600N

⑤?主u外壳最高温??10 ?              ⑩?重量 240KG


3、特性曲U?/span>


4、外形图 

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上一个:(x)高功6/8/12寸复合减薄{?/a>

下一个:(x)8寸晶圆减薄{?/a>