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8寸晶圆减薄{?/h1>

8寸晶圆减薄{?/a>QZCS-260QD0045?b>气静压电(sh)主u


1、主要技术指?/span>


2?主要_ֺ指标

①?转台回{_ֺ?0.1um                    ⑥?轴向刚性≥350N/um

②?动^衡精度等U≤ G0.4                   ⑦?轴向最大承载≥2500N

③?动态全速度范围内振?V ?0.1mm/s       ⑧?径向刚性≥125N/um

④?噪声全速度范围??50 dB               ⑨?径向最大承载≥2500N

⑤?主u外壳最高温??10 ?              ⑩?重量 130KG

 

3、特性曲U?nbsp;



4、外形图


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